1. 最初にユーザー登録を行なって下さい 。(First of all, please complete the user registration.)
2. ユーザー登録承認後,システムにログインすることができます。(After the authorization of your user registration, you can login this system.)
3. ログインすると,研究支援課題申請を行うことができます。尚,装置利用および技術支援を受けられるのは,課題申請者本人のみです。(You can submit a research-support subject application to use our facilities or to receive technical support. Only the applicant can use our facilities or receive our support.)
4. 課題申請を審査し,受理された後,装置利用および技術支援を受けることができます。(After your application is reviewed and accepted, you can use our facilities or receive our support.)
5. ただし,ユーザー自身で装置予約をする(機器利用で利用する)ためには,各装置ごとに単独利用ライセンスを取得する必要があります。 利用ライセンスを取得するまでは,技術補助もしくは技術代行を支援スタッフに申し込んで下さい(技術補助および技術代行は支援スタッフのみが予約可能なため)。(But, you have to obtain a license of each equipment to make a reservation by yourself. Until you acquire the license, please contact our staff to receive technical support.)
6. 単独利用ライセンス取得後は,ユーザー自身で装置予約および装置単独利用が可能です。(After taking the license, you can book and use our facilities by yourself.)
2016-01-25
<<Target config @ UHV-Sputter>>
[11/16-12/28] Ti / Al / SiO2 / Au
[11/7- 11/15] W / Si / Mo / Au
[10/25-11/4] W / Si / Ti / Au
[10/5-10/24] W / Al / Ti / Au
[9/26-10/5] Mo / W / Ti / Au
[9/20-9/23] Al / W / SiN / TiN
[9/6- ] Ti /Au / Al2O3 / Al
[8/2- ] Ti /Au / ITO / Al
[7/25- ] Al /TiN / SiO2 / Ta
[7/11- ] Ti /Au / SiO2 / Pt
[7/4- ] Ti /Al / ITO / Au
[6/27- ] Ti /Al / CaF2 / Au
[6/6- ] Ti /Al / ITO / Au
[5/27- ] Al / Ni / Al2O3 / W
[5/23- ] Al / Ni / SiN / W
[4/7- ] Ti / Au / ITO / Al
[4/6- ] Ti / Au / ITO / MgO
[4/1- ] Ni / Ti / Al / SiN
[3/28- ] Ta / Ti / Al / SiN
[3/16- ] CaF2 / Au / Ag / User's Target
[2/29- ] Si / TiN / Al / SiN
[2/25- ] Si / TiN / PZT / SiN
[2/22- ] Ti / Au / W / ITO
[2/16- ] Ni / W / TiN / Cu
[2/10- ] Ti / Au / Pt / Al
[2/8- ] Ti / Ag / User's Target*2
[2/5- ] Ti / Au / Pt / SiO2
[2/1- ] Ni / Si / Mo / SiN
 
2016-04-04
<<Target config @ jSputter>>
[1/16 - 1/20] Pd, Si, Cu, Ti
[12/5 - ] Si, Ti, TiO2, Au
[11/21 - 12/2] ZnO, Ti, SiO2, Au
[11/14 - 11/18] Pt, Ti, SiO2, Au
[11/7 - 11/11] Pt, Ti, ZnO, Au
[10/31 - 10/4] ITO, Ti, SiO2, Au
[10/24 - 10/28] Pd, Si, Cu, Ti
[10/3 - 10/21] ITO, Ti, SiO2, Au
[9/12 - 9/30] ZnO, Ti, SiO2, Au
[8/31 - 9/9] User's Target, Ti, SiO2, Pt
[8/29 - 8/30] Ni, Co, Cu, Au
[8/22 - 8/26] ZnO, Ti, SiO2, Au
[8/8 - 8/19] Pd, Ti, SiO2, Au
[7/25 - 8/3] ZnO, Ti, SiO2, Au
[7/19 - 7/22] Pd, Si, Cu, Ag
[7/11 - 7/15] Ni, Co, Cu, Au
[6/27 - 7/8] Si, Ti, SiO2, Au
[6/14 - 6/24] Ag, Ti, User's Target, Au
[5/16 - 6/13] Pt, Ti, Cu, Au
[4/25 - 5/13] Pt, Ti, W, Au
[4/14 - 4/22] Si, Ti, SiO2, Au
[4/11 - 4/13] Si, Ti, User's Target, Au
[4/1 - 4/8] Si, Ti, SiN, Au



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