内部利用料金単価表

装置リスト
データ提供あり及びデータ提供非対応 データ提供なし
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
¥10,000 ¥13,000 ¥16,000 ¥15,000 ¥19,500 ¥24,000
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥6,000 ¥9,000 ¥12,000 ¥9,000 ¥13,500 ¥18,000
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150]
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥4,000 ¥7,000 ¥10,000 ¥6,000 ¥10,500 ¥15,000
その他装置 ¥2,000 ¥5,000 ¥8,000 ¥3,000 ¥7,500 ¥12,000

※2023年10月より適用(税抜)

備考

  1. 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
  2. 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
  3. 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
  4. 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
  5. 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
  6. 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
    ※利用時間は、装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です

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  • 【更新日】2024年2月21日
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