外部利用料金単価表

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(大企業)*1

(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
¥27,000 ¥34,500 なし ¥52,000 ¥67,000 ¥82,000 ¥67,600 ¥87,100 ¥106,600
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥17,000 ¥24,500 なし ¥32,000 ¥47,000 ¥62,000 ¥41,600 ¥61,100 ¥80,600
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥12,000 ¥19,500 なし ¥22,000 ¥37,000 ¥52,000 ¥28,600 ¥48,100 ¥67,600
その他装置 *3 ¥7,000 ¥14,500 なし ¥12,000 ¥27,000 ¥42,000 ¥15,600 ¥35,100 ¥54,600

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(中小企業)*1

(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
¥22,000 ¥28,000 なし ¥27,000 ¥34,500 ¥42,000 ¥35,100 ¥44,850 ¥54,600
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥14,000 ¥20,000 なし ¥17,000 ¥24,500 ¥32,000 ¥22,100 ¥31,850 ¥41,600
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥10,000 ¥16,000 なし ¥12,000 ¥19,500 ¥27,000 ¥15,600 ¥25,350 ¥35,100
その他装置 *3 ¥6,000 ¥12,000 なし ¥7,000 ¥14,500 ¥22,000 ¥9,100 ¥18,850 ¥28,600

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(アカデミア)*1

(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
¥12,000 ¥15,000 なし ¥17,000 ¥21,500 ¥26,000 ¥22,100 ¥27,950 ¥33,800
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥8,000 ¥11,000 なし ¥11,000 ¥15,500 ¥20,000 ¥14,300 ¥20,150 ¥26,000
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥6,000 ¥9,000 なし ¥8,000 ¥12,500 ¥17,000 ¥10,400 ¥16,250 ¥22,100
その他装置 *3 ¥4,000 ¥7,000 なし ¥5,000 ¥9,500 ¥14,000 ¥6,500 ¥12,350 ¥18,200

*1 資本金1億円超の民間企業は大企業、1億円以下の民間企業は中小企業、大学等・公的研究機関はアカデミアとなります
*2 装置を予約する際に「データ登録あり」を選択し、RDEシステムにデータ登録したときにのみ適用されます
*3 一部の装置において、ARIM利用(データ提供あり)の設定がありません

備考

  1. 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
  2. 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
  3. 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
  4. 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
  5. 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
  6. 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
    ※利用時間は、装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です

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  • 【更新日】2024年2月21日
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